
潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬(wàn)級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
一、項(xiàng)目背景與目標(biāo)
液晶屏生產(chǎn)對(duì)潔凈度、溫濕度、靜電防護(hù)等環(huán)境參數(shù)要求極高,需嚴(yán)格遵循ISO 14644-1 Class 1000級(jí)(或萬(wàn)級(jí))潔凈標(biāo)準(zhǔn)。本工程旨在通過(guò)科學(xué)設(shè)計(jì)與施工,打造符合液晶屏制造工藝需求的高標(biāo)準(zhǔn)凈化車(chē)間,確保產(chǎn)品良率與生產(chǎn)效率。
二、核心設(shè)計(jì)參數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度等級(jí):
核心生產(chǎn)區(qū):ISO 14644-1 Class 1000級(jí)(空氣中≥0.5μm粒子數(shù)≤1000個(gè)/m3)。
輔助區(qū)域:Class 10000級(jí)或Class 100000級(jí),根據(jù)工藝需求分級(jí)控制。
溫濕度控制:
溫度:22±2℃(夏季)、20±2℃(冬季)。
濕度:45%~55% RH(防靜電與防潮平衡)。
壓差梯度:
核心區(qū)→輔助區(qū)→外界:壓差梯度≥10Pa,防止污染侵入。
靜電防護(hù):
地面電阻:10?~10?Ω(防靜電環(huán)氧自流平)。
設(shè)備與人員接地:≤10?Ω,避免靜電擊穿敏感元件。
三、關(guān)鍵施工內(nèi)容與技術(shù)措施
圍護(hù)結(jié)構(gòu):
墻體與頂板:50mm厚機(jī)制巖棉彩鋼板,圓弧角鋁型材收邊,氣密性≤0.5m3/(h·m2)。
地面:3mm防靜電環(huán)氧自流平,基層平整度≤2mm/2m,表面電阻10?~10?Ω。
門(mén)窗:雙層中空鋼化玻璃氣密門(mén),配套電子互鎖裝置;傳遞窗采用機(jī)械連鎖,紫外線(xiàn)殺菌。
空氣凈化系統(tǒng):
FFU高效過(guò)濾:核心區(qū)全覆蓋,HEPA過(guò)濾器效率≥99.999%(0.3μm粒子)。
空調(diào)機(jī)組:組合式空氣處理機(jī)組,配備三級(jí)過(guò)濾(初效+中效+高效),溫濕度控制精度±1℃、±5% RH。
氣流組織:上送下回,頂棚滿(mǎn)布FFU,地面回風(fēng)夾道,風(fēng)速0.3~0.5m/s,避免渦流。
防靜電與防微振系統(tǒng):
防靜電地板:導(dǎo)電環(huán)氧地坪+銅箔網(wǎng)格接地,接地電阻≤4Ω。
設(shè)備防微振:光刻機(jī)等精密設(shè)備區(qū)域設(shè)置獨(dú)立防微振基座,振動(dòng)值≤0.5μm/s。
純水與特氣系統(tǒng):
純水:EDI+拋光混床工藝,電阻率≥18MΩ·cm(25℃),供點(diǎn)壓力0.2~0.4MPa。
特氣:N?、Ar、SiH?等氣體采用雙管路供應(yīng),壓力≤0.8MPa,配備泄漏報(bào)警與自動(dòng)切斷裝置。
四、施工流程與質(zhì)量控制
施工階段劃分:
基礎(chǔ)施工:地面找平、防潮層施工、預(yù)埋管線(xiàn)(風(fēng)管、水管、電線(xiàn)管)。
圍護(hù)結(jié)構(gòu)安裝:彩鋼板隔斷、吊頂、門(mén)窗安裝,接縫處打密封膠。
機(jī)電安裝:空調(diào)機(jī)組、FFU、純水機(jī)、特氣柜等設(shè)備就位與調(diào)試。
裝飾裝修:環(huán)氧地坪施工、防靜電接地安裝、照明與插座布線(xiàn)。
系統(tǒng)聯(lián)調(diào):潔凈度檢測(cè)、溫濕度驗(yàn)證、壓差梯度校準(zhǔn)。
質(zhì)量控制要點(diǎn):
潔凈度檢測(cè):采用激光粒子計(jì)數(shù)器,動(dòng)態(tài)測(cè)試≥1小時(shí),靜態(tài)測(cè)試≥24小時(shí)。
風(fēng)速與換氣次數(shù):核心區(qū)風(fēng)速0.3~0.5m/s,換氣次數(shù)≥30次/h。
密封性測(cè)試:彩鋼板接縫、門(mén)窗縫隙處用煙霧測(cè)試儀檢測(cè)泄漏。
五、成本預(yù)算與工期安排
成本預(yù)算:
圍護(hù)結(jié)構(gòu):約150萬(wàn)元(彩鋼板、門(mén)窗、地面)。
空氣凈化系統(tǒng):約200萬(wàn)元(FFU、空調(diào)機(jī)組、風(fēng)管)。
防靜電與特氣系統(tǒng):約100萬(wàn)元(環(huán)氧地坪、特氣柜、純水機(jī))。
機(jī)電安裝與調(diào)試:約80萬(wàn)元(電氣、給排水、消防)。
其他費(fèi)用:設(shè)計(jì)費(fèi)、管理費(fèi)、稅費(fèi)等約50萬(wàn)元。
總預(yù)算:約580萬(wàn)元(具體需根據(jù)設(shè)備選型與地域差異調(diào)整)。
工期安排:
總工期:120日歷天(含設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試)。
關(guān)鍵節(jié)點(diǎn):
第30天:完成圍護(hù)結(jié)構(gòu)安裝。
第60天:完成機(jī)電設(shè)備安裝。
第90天:完成系統(tǒng)聯(lián)調(diào)與初驗(yàn)。
第120天:通過(guò)第三方檢測(cè)并交付。
六、風(fēng)險(xiǎn)管理與應(yīng)急預(yù)案
風(fēng)險(xiǎn)識(shí)別:
潔凈度不達(dá)標(biāo):FFU效率不足、密封性缺陷。
溫濕度失控:空調(diào)機(jī)組故障、純水系統(tǒng)泄漏。
靜電事故:防靜電措施失效、人員操作不當(dāng)。
應(yīng)急預(yù)案:
潔凈度異常:立即停產(chǎn),排查FFU與過(guò)濾器,啟動(dòng)備用機(jī)組。
溫濕度超限:切換至手動(dòng)模式,調(diào)整空調(diào)參數(shù),啟用除濕機(jī)或加濕器。
靜電事故:?jiǎn)?dòng)ESD報(bào)警系統(tǒng),疏散人員,檢查接地與防靜電設(shè)施。
本方案通過(guò)精細(xì)化設(shè)計(jì)、高標(biāo)準(zhǔn)施工與嚴(yán)格的質(zhì)量控制,確保3000平方米液晶屏凈化車(chē)間滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝需求。實(shí)施過(guò)程中需重點(diǎn)關(guān)注圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性、空氣凈化系統(tǒng)效率與防靜電措施的有效性,同時(shí)建立完善的應(yīng)急預(yù)案,保障生產(chǎn)安全與產(chǎn)品品質(zhì)。