
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
評估電子凈化車間施工后的潔凈度是否達標,需結合行業規范、測試方法及實際運行條件進行系統性檢測與分析。以下是具體評估步驟及關鍵要點,具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!
一、明確潔凈度標準
根據電子行業需求(如芯片制造、半導體封裝等),確定適用的潔凈度等級。常見標準包括:
ISO 14644-1:國際標準,按每立方米空氣中≥0.1μm、≥0.5μm等粒徑的顆粒物數量劃分等級(如ISO 5級對應每立方米≤3,520個≥0.5μm顆粒)。
美國聯邦標準209E(已逐步被ISO取代):如Class 100對應每立方英尺≤100個≥0.5μm顆粒。
行業特定標準:如半導體行業可能要求更嚴格的顆粒控制或額外指標(如化學污染物、靜電等)。
二、核心檢測項目與方法
1、顆粒物濃度檢測
工具:激光粒子計數器(需校準)。
方法:
在車間內按網格布點(如每10-20㎡設一個點),離地0.8-1.2m高度采樣。
檢測≥0.1μm、≥0.5μm等關鍵粒徑的顆粒數,對比標準限值。
動態檢測(設備運行中)與靜態檢測(設備停機)均需進行。
2、微生物污染檢測(如適用)
工具:浮游菌采樣器、沉降菌培養皿。
方法:
浮游菌:采集空氣中微生物,培養后計數(CFU/m3)。
沉降菌:暴露培養皿一定時間,計算菌落數(CFU/皿·4h)。
適用于生物電子或醫藥相關車間。
3、氣流組織與風速驗證
工具:風速儀、煙霧發生器。
方法:
檢測送風口風速(如百級區風速0.25-0.5m/s)。
觀察氣流方向(用煙霧發生器),確保無渦流或死角。
驗證壓差梯度(如潔凈區與非潔凈區間壓差≥10Pa)。
4、溫濕度控制
工具:溫濕度記錄儀。
方法:
持續監測車間溫濕度(如溫度22±2℃,濕度45-65%RH)。
確保符合工藝要求(如光刻工藝對濕度敏感)。
5、靜壓差與空氣平衡
工具:微壓差計。
方法:
檢測各區域間靜壓差(如潔凈區>準潔凈區>普通區)。
驗證空氣平衡,避免交叉污染。
6、照度與噪聲檢測
工具:照度計、聲級計。
方法:
照度:工作面照度≥300lux(依工藝調整)。
噪聲:≤65dB(A)(避免影響精密設備或人員操作)。
三、檢測頻率與周期
施工驗收階段:
靜態檢測:設備安裝完成后、運行前。
動態檢測:模擬生產狀態(人員、設備、物料流動)。
日常運行階段:
定期檢測(如每月/季度)關鍵指標(顆粒、溫濕度、壓差)。
異常情況(如設備維修、人員增加)后需重新檢測。
四、數據記錄與分析
記錄內容:
檢測時間、地點、環境條件(溫濕度、壓差)。
顆粒物濃度、微生物數量、風速等原始數據。
檢測人員、設備型號及校準信息。
分析方法:
對比標準限值,計算合格率。
繪制潔凈度分布圖,識別高風險區域。
五、整改與復測
不合格項處理:
定位問題源頭(如過濾器泄漏、氣流短路)。
修復后重新檢測,直至全部指標達標。
復測要求:
復測項目需覆蓋初始不合格點及關聯區域。
復測合格后方可投入使用。
六、第三方認證(可選)
委托CNAS認可的檢測機構進行獨立評估,出具權威報告,增強客戶信任。
七、持續監控與維護
建立潔凈度管理檔案,定期更新檢測數據。
制定預防性維護計劃(如更換過濾器、校準設備),確保長期達標。
示例檢測流程
1、靜態檢測:關閉所有生產設備,檢測顆粒物濃度。
2、動態檢測:模擬生產流程,檢測顆粒物、風速、壓差。
3、微生物檢測:在關鍵區域放置培養皿,48小時后計數。
4、綜合評估:若所有指標均符合ISO 5級標準,則判定達標。
通過以上系統性檢測與驗證,可確保電子凈化車間滿足工藝要求,保障產品質量與生產穩定性。