在集成電路制造業(yè)中，潔凈廠房的空氣循環(huán)設計是至關重要的環(huán)節(jié)，它不僅直接關系到生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，還影響著生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求日益嚴格，因此，潔凈廠房的空氣循環(huán)設計也在不斷演進和完善。合潔科技電子潔凈工程公司將為大家詳細介紹集成電路制造業(yè)潔凈廠房空氣循環(huán)設計的三大類型。

　　1、循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng)

　　適用場景：小規(guī)模、低等級要求的潔凈室車間設計2。

　　特點：通過循環(huán)空調(diào)機將空氣進行過濾和調(diào)節(jié)，然后通過高效送風口送入潔凈室。

　　優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)。

　　缺點：

　　運行成本高：對于大面積和高等級潔凈車間，能耗較大。

　　占用空間大：需要較大的機房空間來放置空調(diào)機組。

　　電源功耗大：空調(diào)機組的運行需要消耗大量電力。

　　2、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)

　　適用場景：集成電路制造和無塵車間大面積、高等級要求2。

　　特點：通過循環(huán)風機將空氣進行過濾和循環(huán)，同時采用濕式密封系統(tǒng)來保持潔凈室的密封性。

　　優(yōu)點：

　　滿足高潔凈度要求：能夠提供較高的空氣潔凈度。

　　密封性好：濕式密封系統(tǒng)能夠有效防止外部污染物進入。

　　缺點：

　　運行成本高：能耗較大，維護成本也較高。

　　風速、風量調(diào)節(jié)困難：系統(tǒng)調(diào)節(jié)靈活性較低。

　　系統(tǒng)升級改造困難：由于結(jié)構(gòu)復雜，升級和改造較為困難。

　　3、FFU(Fan Filter Unit，風機過濾器單元)循環(huán)系統(tǒng)

　　適用場景：半導體制造業(yè)，特別是8英寸、12英寸芯片制造工廠5。

　　特點：

　　結(jié)構(gòu)組成：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成。

　　工作原理：由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層。

　　靜壓層設計：靜壓層相對于工藝層為負壓，確?？諝鈫蜗蛄鲃?。

　　優(yōu)點：

　　節(jié)省運行空間：FFU系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小。

　　潔凈度安全性高：通過超高效過濾器，確?？諝鉂崈舳取?/span>

　　運行成本低：相比其他系統(tǒng)，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)的能耗較低。

　　操作靈活性高：可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整。

　　應用：在半導體制造業(yè)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的凈化設計方案3。

　　這三種空氣循環(huán)設計類型都是為了滿足集成電路制造業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度的高要求。選擇哪種類型需要根據(jù)企業(yè)的具體情況和需求進行綜合考慮，包括潔凈度要求、生產(chǎn)規(guī)模、建設成本、維護成本以及操作靈活性等因素。目前，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)因其諸多優(yōu)點，在半導體制造業(yè)中得到了廣泛應用。