日前，中科芯微半導體機器人研發生產基地項目在中德(沈陽)高端裝備制造產業園開工建設。該項目將聚焦半導體專業設備領域的國產替代研發，填補相關領域空白，未來打造成為國內領先的集研發、生產、銷售于一體的半導體機器人研發生產基地。
該項目計劃總投資5億元，占地面積6.9萬平方米，規劃建筑面積約8.3萬平方米，將建設數字化智能制造生產廠房、半導體核心設備實驗室、研發綜合樓等設施。項目竣工投產后，可實現年產半導體機器人1000臺套，預計新增產值10億元，實現稅收5000萬元，新增就業500余人。
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