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晶圓無塵車間空調通風系統設計需滿足哪些條件

2024-03-04
共有4488家企業看過

  現如今,許多工廠為了能夠把產品的質量發展到最大化,都建造了無塵車間來滿足產品生需求產,但設計一個晶圓無塵車間不是簡單的事情。今天合潔科技電子凈化工程小編就為大家介紹晶圓無塵車間空調通風系統設計需滿足哪些條件吧!

  晶圓無塵車間空調通風系統設計一般要滿足以下幾方面的條件:

  1、給予晶圓無塵車間足量的潔凈空氣的稀釋、去除在生產時和人員所污染的空氣,使車間的塵、菌達到規定的要求。

  2、帶走晶圓無塵車間的余熱、余濕,或補給車間所需的熱量、濕量,以維持晶圓無塵車間的設計溫度、濕度。這一點和其它空調系統是一致的,仍然是其主要任務之一。

  3、供給晶圓無塵車間充足的室外新鮮空氣,使車間的空氣品質,符合人們正常工作所需的衛生標準。

  4、補給足夠量的清潔空氣稀釋車間的有害物濃度,如工藝過程中散發的易燃、易爆有機溶劑和有害氣體,以確保車間空氣中的有害物濃度低于相關標準所規定的最高容許濃度。


晶圓無塵車間


  5、根據工藝要求,通過送、回、排風量的不同匹配,以維持車間相對于室外或鄰室,或走道一定的正壓值或負壓值。以控制相鄰空間氣流或污染物的流向。

  6、采取相應的隔離、局部排風等措施,防止工藝產生的粉塵、大量余熱、余濕等有害物在車間擴散。

  7、設置必要的分離、收集裝置,既防止由車間排出去的有害物質污染大氣,又可回收部分排風帶走的可利用藥塵。

  在設計晶圓無塵車間空調通風系統時,需要綜合考慮以上條件,確保系統能夠有效地滿足晶圓生產的要求,提高生產效率,保障產品質量。建議在設計階段與專業的空氣處理工程師或公司合作,以確保系統設計符合標準和要求。

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