目前國(guó)內(nèi)在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的技術(shù)已達(dá)到納米級(jí)，但凡空間中存在著細(xì)小灰塵污染，將嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至?xí)霈F(xiàn)廢品的情況，因此在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間必須按高標(biāo)準(zhǔn)的條件要求進(jìn)行配置，從EPC工程（總承包）的角度，具體分析半導(dǎo)體潔凈車(chē)間在生產(chǎn)環(huán)境中的要求。

6、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。

對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格，對(duì)濕度的要求更高，因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞，因此電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右。相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理（DUV）區(qū)甚至更小，而在其他地方則放松到±5%的范圍內(nèi)。細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng)）在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖，一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)，所以濕度控制在處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適。

半導(dǎo)體潔凈車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求，相比其他工業(yè)潔凈車(chē)間，無(wú)論是生產(chǎn)集成電路器件、分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器......都有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。