半導體晶圓硅片潔凈車間設計規范
2025-01-09
標簽：
潔凈車間設計
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硅片潔凈車間
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半導體晶圓潔凈廠房
半導體晶圓硅片的生產過程中，對環境的潔凈度、溫濕度、防微振等均有嚴格的控制要求。潔凈車間作為半導體生產的核心區域，其設計規范直接關系到產品的質量和生產效率。合潔...
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工信部備案號：