半導體晶圓硅片潔凈車間設計規(guī)范
2025-01-09
標簽：
潔凈車間設計
,
硅片潔凈車間
,
半導體晶圓潔凈廠房
半導體晶圓硅片的生產(chǎn)過程中，對環(huán)境的潔凈度、溫濕度、防微振等均有嚴格的控制要求。潔凈車間作為半導體生產(chǎn)的核心區(qū)域，其設計規(guī)范直接關系到產(chǎn)品的質量和生產(chǎn)效率。合潔...
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工信部備案號：